微机电体系(MEMS)是融合了微电子、机械、材料范畴手艺生长的产品，它使用西宁网站扶植与集成电路加工手艺相类似的制造工艺，制备出各类机能各异、价钱低廉、微型化的传感器、实行器和微体系。MEMS手艺的生长拓荒了一个全新的手艺范畴和财产，它们具有好多传统器件无法对比的长处，在国防平安、航空航天、信息工程、医疗卫生和生物工程等范畴有着广阔的应用潜力。
邹旭东，入选中组部第十二批“千人规划”青年项目，中国科学院电子学研究所“传感手艺联合国度重点试验室”研究员、博士生导师。通过十年来的专业进修与研究事情，在MEMS手艺范畴、稀奇是在高精度谐振式MEMS加快度计的设计、制造与测试方面打下了坚实的根蒂，并取得了多项国际重大科研功效。他十年磨一剑，在微机电体系范畴不懈索求，于方寸之间开启立异舞台，并取得斐然功效。
旭日东升的微机电体系
MEMS是20世纪80年月末显现的一种战略性高新手艺，引起各蓬勃国度的普遍存眷，近年来更是形玉成球化的财产。跟着新一轮手艺革命海潮的鼓起，以微传感器、实行器为代表的MEMS手艺应用迎来了更广阔的生长空间。能够预见， MEMS手艺将继续在国民西宁网站扶植问答经济与国度平安的相关紧张范畴施展伟大作用。
邹旭东2009年本科卒业于北京大学元培规划试验班(微电子专业)，2013年博士卒业于剑桥大学工程系(微体系专业)。并曾先后在“北京大学微米/纳米加工手艺国度重点试验室”与剑桥大学“纳米科学中心”从事研究。十年前，他就对其时还尚属“冷门”的MEMS手艺发生了粘稠的兴趣，直觉告诉他，MEMS手艺将大有可为。当前，国度再次提出要控制焦点芯片手艺，这促使他毅然选择了学成归国，将所学服务国度。截至今朝，他在MEMS范畴期刊及国际会议上共揭橥论文十余篇，申请5项国际专利(1项授权)，并与国外公司互助开发成功一套专用微加工工艺流程，采用该流程临盆的加快度传感器芯片制品率跨越95%，到达批量化临盆的要求。
引领偏向，彰显立异实力
MEMS加快度计是最早适用化的MEMS手艺功效之一。然而，现有的产物广泛精度较低，少数高精度MEMS加快度计产物受制于传感原理的限定，难以知足特定应用的需求。
自2010年起，邹旭东一直从事基于谐振式传感原理的高精度MEMS加快度传感器的研发事情，以知足在油气钻井中对低频/准静态加快度信号进行分布式高精度丈量的需求。博士卒业后，他蝉联剑桥大学纳米科学中心研究员,继续从事上述传感器的研发及产物化事情。2014年,开发出首批谐振式MEMS加快度传感器制品样机,在外场试验中实现了一连不乱的高分辨率低频/准静态加快度丈量。该传感器的原理及设计方式已得到国际专利授权和业界的高度承认，由英国石油公司和剑桥大学联合成立的公司正基于该传感器焦点手艺开发多种立异性的产物和手艺。MEMS传感手艺在该范畴的成功应用，有望为传统的油气行业井下传感器手艺，带来新的革命。因上述研究功效，邹旭东于2014年被选为为剑桥大学丘吉尔学院院士，为同年10名入选者中的华人。
千锤百炼，拓展学术舞台
“高新手艺的生长必需面向财产，面向天下提拔焦点竞争力”，邹旭东始终如许以为。容身自身现实的同时，他与国外同业专家连结着亲切的学术接洽，积极开展学术交换与互助，另一方面，与一批重点单元创建了慎密的产学研互助关系。同时，他也络续在拓展本身的研究偏向：在抗过载MEMS高精度陀螺，谐振式MEMS传感器接口电路以及非线性微机电谐振器等方面都进行了一些较为深切并具有原创性的根蒂研究。
有如20世纪微电子带来信息革命一般，微机电体系在21世纪将生长成为复杂的高新手艺财产，极大地改变人的临盆和生涯方法。体量细小的MEMS手艺，在精准、疾驰而深刻地改变着我们的生涯。对付邹旭东而言，成就已成为曩昔，对准国度重大需乞降国际前沿，他将继续扬帆起航。